Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications
Formato: | Libro electrónico |
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Idioma: | Inglés |
Edición: | 2nd ed |
Materias: | |
Acceso en línea: | Acceso restringido con credenciales, usuarios UPSA |
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Notas: | Autor/es: Kaariainen, Tommi. |
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Descripción Física: | 1 recurso en línea xv, 253 p. : ill |
ISBN: | 9781118747421 |
Acceso: | Acceso restringido con credenciales, usuarios UPSA |