The science and engineering of Microelectronic fabrication
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Oxford [etc.] :
Oxford University Press
2001.
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| Edición: | 2nd ed |
| Colección: | The Oxford series in Electrical and Computer Engineering
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| Materias: |
| Descripción Física: | XVI, 603 p. ; 25 cm |
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| ISBN: | 9780195136050 |
