Ultra clean processing of semiconductor surfaces XI selected, peer reviewed papers from the 11th international symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS), September 17-19, 2012, Gent, Belgium
| Autor Corporativo: | |
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| Otros Autores: | , , |
| Formato: | Libro electrónico |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Durnten-Zurich, Switzerland :
Trans Tech Publications Ltd
[2013]
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| Colección: | EBSCO Academic eBook Collection Complete.
Solid state phenomena ; v. 195. |
| Acceso en línea: | Conectar con la versión electrónica |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b30831702*spi |
| Descripción Física: | 328 p. : il. (black and white) |
|---|---|
| Formato: | Forma de acceso: World Wide Web. |
| Bibliografía: | Incluye referencias bibliográficas e índice. |
| ISBN: | 9783038139089 9781628700268 |
