Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. Vol 2: Micromachining and microfabrication

Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication Vol 2: Micromachining and microfabrication Vol 2: Micromachining and microfabrication /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Rai-Choudhury, P. (-)
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: London : Institution of Electrical Engineers 1997
Edición:1a ed
Colección:IEE Materials and Devices series 12B
Materias:
Electrónica > Microelectrónica
Ver en Universidad de Navarra:https://innopac.unav.es/record=b2477683x*spi
Descripción
Descripción Física:692 p. 26 cm
ISBN:9780852969113

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