Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication Vol.: 1 Microlitthography Vol.: 1 Microlitthography /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Londres :
Institution of Electrical Engineers
1997
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| Edición: | 1a ed |
| Colección: | IEE Materials and Devices serie 12
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| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b24773724*spi |
| Descripción Física: | 768 p. 26 cm |
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| ISBN: | 9780852969069 |
