Handbook of contamination control in microelectronics. Principles
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Publicado: |
New Jersey :
Noyes Publications
1988
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| Edición: | 1a ed |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b24709347*spi |
| Descripción Física: | 488 p. |
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| ISBN: | 9780815511519 |
