Field guide to optical lithography
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Washington. USA. :
SPIE Press
2006.
|
| Colección: | SPIE field guides ;
FG06 |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b24665186*spi |
| Descripción Física: | 122 p. ; 21 cm |
|---|---|
| ISBN: | 9780819462077 |
