Handbook of chemical vapor deposition (CVD) Principles, technology, and applications
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Norwich, NY :
Noyes Publications
1999.
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| Edición: | 2a ed |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b24620208*spi |
| Descripción Física: | 482 p. ; 24 cm |
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| ISBN: | 9780815514329 |
