Producción de capas finas de compostos silicio-carbono con lámpada excímera
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Tesis |
| Idioma: | Gallego |
| Publicado: |
Vigo :
Universidade de Vigo, Servicio de Publicacións
1998
|
| Colección: | Tese de doutoramento / Universidade de Vigo ;
65 |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b13667609*spi |
| Descripción Física: | 1 microficha ; 11 x 15 cm + 1 carpetilla |
|---|---|
| ISBN: | 9788481580907 |
