Producción de capas finas de compostos silicio-carbono con lámpada excímera
Autor principal: | |
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Formato: | Tesis |
Idioma: | Gallego |
Publicado: |
Vigo :
Universidade de Vigo, Servicio de Publicacións
1998
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Colección: | Tese de doutoramento / Universidade de Vigo ;
65 |
Materias: | |
Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b13667609*spi |
Descripción Física: | 1 microficha ; 11 x 15 cm + 1 carpetilla |
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ISBN: | 9788481580907 |