Simulació del procés de deposició assistida per feix d'electrons amb el mètode de Monte Carlo

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Vilagran Fraguell, Aina (-)
Autor Corporativo: Escola Tècnica Superior d'Enginyeria Electrònica i Informàtica La Salle (-)
Otros Autores: Graells Castellà, Simó
Formato: Tesis
Idioma:Catalán
Publicado: 2008
Materias:
Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull:https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991008294079706719
Descripción
Descripción Física:1 v. : il. ; 29 cm
Bibliografía:Bibliografia