Mètodes de purificació d'estructures fabricades amb deposició assistida per un feix d'electrons focalitzat

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Montero López, Adriana (-)
Autor Corporativo: Escola Universitària d'Enginyeria Tècnica de Telecomunicació La Salle (-)
Otros Autores: Graells Castellà, Simó
Formato: Tesis
Idioma:Catalán
Publicado: 2008
Materias:
Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull:https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991007782539706719
Descripción
Descripción Física:1 v. : il. ; 29 cm