Processing of semiconductors

Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Jackson, Kenneth A. , ed (ed), Cahn, Robert W. , ed, Haasen, P. (Peter), ed, Kramer, Edward J. , ed
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Weinheim [etc.] : VCH 1996
Colección:Materials science and technology (Weinheim an der Bergstrasse, Germany) ; 16
Materias:
Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull:https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991007029689706719
Descripción
Notas:Índexs
Descripción Física:[11], 689 p. : il.; 24 cm
Bibliografía:Referències bibliogràfiques a cada capítol
ISBN:9783527268290