Microelectronics processing chemical engineering aspects
| Otros Autores: | , |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Washington, D.C. :
American Chemical Society
1989
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| Colección: | Advances in chemistry series ;
221 |
| Materias: | |
| Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991007006569706719 |
| Descripción Física: | XIV, 547 p.; 24 cm |
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| Bibliografía: | Bibliografia. Índex |
| ISBN: | 9780841214750 |
