Handbook of chemical vapor deposition (CVD) Principles, technology, and applications
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Norwich, NY :
Noyes Publications
1999.
|
| Edición: | 2a ed |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b24620208*spi |
