Semiconductor lithography principles practices and materials
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
New York :
Plenum Publishing Corporation
1991
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| Edición: | 1a ed |
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b24575550*spi |
| Descripción Física: | 931 p. |
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| ISBN: | 9780306421853 |
