Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing
This updated version of the popular handbook further explains all aspects of physical vapor deposition (PVD) process technology from the characterizing and preparing the substrate material, through deposition processing and film characterization, to post-deposition processing. The emphasis of the ne...
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro electrónico |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Norwich, N.Y. : Oxford :
William Andrew ; Elsevier Science [distributor]
2010.
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| Edición: | 2nd ed |
| Colección: | Science Direct e-books.
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| Acceso en línea: | Conectar con la versión electrónica |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b22634976*spi |
