Contribució a l'estudi del creixement de capes primes de carbur de silici obtingudes per LPCVD
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Tesis |
| Idioma: | Catalán |
| Publicado: |
Bellaterra, Barcelona :
Servei de Publicacions de la Universitat Autònoma de Barcelona
2000.
|
| Edición: | Ed. microfotogràfica |
| Colección: | Tesis Doctorals de la Universitat Autònoma de Barcelona.
|
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b16061974*spi |
| Notas: | Precede al tit. : Facultat de Ciències |
|---|---|
| Descripción Física: | 1 Microforma : negativo ; 11 x 15 cm+ 1 folleto (11 p.) |
| ISBN: | 9788449017582 |
