Formalismes físics per a la microscòpia d'efecte túnel aplicació d'un STM atmosfèric en microelectrònica : caracterització de Si i d'estructures MOS
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Tesis |
| Idioma: | Castellano |
| Publicado: |
Bellaterra :
Publicacions de la Universitat Autònoma de Barcelona
1993
|
| Colección: | Tesis Doctorals de la Universitat Autonoma de Barcelona
|
| Materias: | |
| Ver en Universidad de Navarra: | https://innopac.unav.es/record=b12073039*spi |
| Descripción Física: | 1 microforma ; 11 x 15 cm + 9 p. ; 18 cm |
|---|---|
| ISBN: | 9788479293956 |
