Fundamentals of microfabrication the science of miniaturization

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Madou, Marc J. (-)
Formato: Libro
Idioma:Inglés
Publicado: Boca Raton [etc.] : CRC Press cop. 2002
Edición:2nd ed
Materias:
Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull:https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991006887489706719
Descripción
Descripción Física:723 p., [16] p. de làm. : il., gràfics; 29 cm
Bibliografía:Referències bibliogràfiques. Índex
ISBN:9780849308260