Fundamentals of microfabrication the science of miniaturization
Autor principal: | |
---|---|
Formato: | Libro |
Idioma: | Inglés |
Publicado: |
Boca Raton [etc.] :
CRC Press
cop. 2002
|
Edición: | 2nd ed |
Materias: | |
Ver en Biblioteca Universitat Ramon Llull: | https://discovery.url.edu/permalink/34CSUC_URL/1im36ta/alma991006887489706719 |
Descripción Física: | 723 p., [16] p. de làm. : il., gràfics; 29 cm |
---|---|
Bibliografía: | Referències bibliogràfiques. Índex |
ISBN: | 9780849308260 |